Magnetron Sputtering : טכנולוגיה לשיקוע שכבות דקות באיכות גבוהה
יסודות מגנטרון ספטרינג הוא טכנולוגיה מרכזית לייצור שכבות דקות באיכות גבוהה, לשימוש בתעשיות כגון אלקטרוניקה, אנרגיה סולארית ומדע החומרים. בתהליך הספטרינג, חומר המטרה – בדרך כלל מתכת, סגסוגת מתכתית, מוליך למחצה או חומר דיאלקטרי – מופצץ ביונים בסביבה של פלזמה. היונים משחררים אטומים מפני המטרה, אשר נעים במהירות ומתיישבים על המצע ויוצרים שכבה דקה. טכנולוגיית […]
